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該多路氣體配比器 三進(jìn)一出可以外接3或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

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氣體液體配比混合 流量精確控制主要用于氣體液體混合配比,液體加熱產(chǎn)生氣體并用其他氣體做載氣,為等離子沉積cvd沉積或其他特定設(shè)備提供氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加， 該氣體配比器也可以選擇多種液體和氣體混合。詳情請聯(lián)系客服人員溝通